renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉軸鏡組

英(ying)國 renishaw 雷尼紹 XL80 激(ji)光干涉儀(yi) 鐳射(she) 數控機床(chuang)加工中心精(jing)度檢(jian)測校準

 激光(guang)干涉儀是以光(guang)波為(wei)(wei)載體，以光(guang)波波長為(wei)(wei)單位的(de)一種計(ji)量測試方法，是*的(de)高精度(du)、高靈(ling)敏度(du)的(de)檢測手(shou)段，在制造領(ling)域(yu)應用廣泛(fan)。

工(gong)作原(yuan)理：

 激光(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)發射(she)單一頻率光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)射(she)入線(xian)性干涉鏡(jing)(jing)，然后分(fen)成兩(liang)道光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)，一道光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)（參考光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)）射(she)向(xiang)連接分(fen)光(guang)(guang)(guang)鏡(jing)(jing)的(de)(de)(de)反射(she)鏡(jing)(jing)，而第二道透射(she)光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)（測量光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)）則通過分(fen)光(guang)(guang)(guang)鏡(jing)(jing)射(she)入第二個(ge)(ge)反射(she)鏡(jing)(jing)，這兩(liang)道光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)再反射(she)回到分(fen)光(guang)(guang)(guang)鏡(jing)(jing)，重(zhong)新匯聚之后返回激光(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)，其中(zhong)會(hui)(hui)有一個(ge)(ge)探測器(qi)(qi)監控(kong)兩(liang)道光(guang)(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)之間的(de)(de)(de)干。若(ruo)光(guang)(guang)(guang)程差沒有變(bian)化(hua)時，探測器(qi)(qi)會(hui)(hui)在相(xiang)長性和相(xiang)消性干涉的(de)(de)(de)兩(liang)極(ji)之間找到穩定(ding)的(de)(de)(de)信號。

 若光(guang)(guang)程差有變(bian)(bian)化(hua)(hua)時，探測器(qi)會在(zai)每(mei)一次(ci)光(guang)(guang)程變(bian)(bian)化(hua)(hua)時，在(zai)相長(chang)性和相消性干涉的兩(liang)極之(zhi)間找到變(bian)(bian)化(hua)(hua)信號，這些變(bian)(bian)化(hua)(hua)會被計算(suan)并(bing)用來測量兩(liang)個光(guang)(guang)程之(zhi)間的差異變(bian)(bian)化(hua)(hua)。

特點：

1、激光(guang)(guang)穩頻精(jing)度 通過動態(tai)熱控制(zhi)技(ji)術將激光(guang)(guang)管(guan)長(chang)度變化控制(zhi)在(zai)幾納米范圍內，達到1年內精(jing)度為±0.05 ppm，1小時內精(jing)度為±0.02 ppm。

2、線(xian)性(xing)測量精度(du)，精度(du)為(wei)±0.5 ppm。可以(yi)高達50 kHZ頻率(lv)讀取(qu)數據(ju)，線(xian)性(xing)測量速(su)度(du)可達4 m/s，即使在速(su)度(du)下線(xian)性(xing)分(fen)辨(bian)率(lv)仍可達1 nm。

3、儀器內置的USB意(yi)味(wei)著激光系統與(yu)計算機之間(jian)無需(xu)單獨的接口(kou)。

4、激光(guang)頭前部的一排LED狀態指示(shi)燈顯示(shi)激光(guang)狀態和信號強度，相當于將屏(ping)幕軟件(jian)上的“狀態顯示(shi)”擴(kuo)展到激光(guang)頭上。

5、可以在標(biao)準 (40 m) 和長 (80 m) 距(ju)離模式之間切換

6、模擬I/O端口(kou)允(yun)許模擬信號(hao)輸(shu)出和觸發(fa)信號(hao)輸(shu)入。

 使用(yong)注意事項(xiang)：

1、儀器(qi)應放置在干燥、清潔以及無(wu)振動(dong)的環境中(zhong)應用。

2、在移動儀(yi)器時，為防止(zhi)導軌變形，應托住底座再進行移動。

3、儀器(qi)的光學零件在不用時，應(ying)在清(qing)潔干(gan)燥的器(qi)皿中(zhong)進行存放，以防止發霉。

4、盡(jin)量不要去擦拭(shi)儀器(qi)的反光(guang)鏡、分光(guang)鏡等(deng)，如必須擦拭(shi)則(ze)應當小心擦拭(shi)，利(li)用科(ke)學的方法進行(xing)清潔。

5、導軌、絲桿、螺母(mu)與軸孔部(bu)分等傳動部(bu)件，應當保(bao)持良好的(de)潤(run)滑。因此必要(yao)時要(yao)使(shi)用精密儀表(biao)油潤(run)滑。

6、在使(shi)用時應避免強旋、硬(ying)扳等情況(kuang)，合理(li)恰當的調整部件。

7、避免(mian)劃傷或(huo)腐蝕(shi)導軌面絲桿，保持其不失油。

 renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉軸鏡組